首頁 > 無塵室產業最新消息 > 半導體製程升級，Class 1 潔淨室成主流？
隨著AI晶片、高速運算（HPC）、5G與車用晶片的快速演進，全球半導體製程不斷朝向更小的奈米節點邁進。從 7nm、5nm 到即將量產的 3nm、2nm 製程，晶片的結構越趨複雜，也對製程環境提出更嚴苛的要求。在這樣的趨勢下，Class 1 潔淨室（Cleanroom Class 1）正逐漸從少數高端應用走向更廣泛的先進製造主流。
為什麼先進製程需要更高潔淨等級？
在傳統的IC製造中，Class 100 或 Class 10 的無塵室已能滿足大多數的曝光、蝕刻、鍍膜等工序。但當製程線寬縮小至 5nm 甚至 2nm 時，任何一顆粒徑超過數十奈米的微粒都可能造成電路缺陷，進而降低良率，甚至損壞晶圓。因此，先進製程對微粒控制的要求已不可同日而語，Class 1 無塵室的需求急速上升。
Class 1 無塵室的關鍵設計挑戰
相比Class 100或Class 10，Class 1 潔淨室在設計與施工上難度極高，主要挑戰包括：
- 風量與氣流控制：需高度均勻的層流（Laminar Flow），避免亂流區堆積微粒。
- FFU配置密度：高密度佈局FFU（Fan Filter Unit）並搭配UHEPA濾網。
- 壓差穩定性：各區域間需維持微正壓，且不受操作擾動影響。
- 地板與天花板整合：需無縫隙、低粒子滯留率的建材系統。
台積電與三星帶動高等級潔淨室建設潮
根據IC Insights、TrendForce等報告顯示，未來三年內全球先進製程的產能擴充預期將集中於2nm與3nm節點。台積電南科奈米晶圓廠、高雄與竹南廠區，以及三星位於韓國的GAA架構晶圓廠，皆投入Class 1 等級的潔淨室建設，使得高等級無塵室的工程設計與設備供應成為新一波產業關鍵。
九合工程：承接Class 1~10000全等級無塵室工程
九合工程股份有限公司具備承接 Class 1 潔淨室建置經驗，提供從前期評估、氣流模擬、壓差配置到系統整合的一站式服務。我們專注於高階FFU模組、UHEPA過濾、節能空調與監控系統的整合應用，並可依製程區域不同需求，彈性規劃 Class 1～10000 等級潔淨室。
在全球半導體競爭進入微米極限時代的當下，潔淨室已不再只是輔助設施，而是決定晶圓良率與穩定供應的核心基礎設施之一。若您正在規劃先進製程或高潔淨度實驗室空間，歡迎洽詢九合工程，我們將提供最專業的無塵室工程與設備解決方案。
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